微细加工技术期刊信息
- 出版语言：中文
- 创刊时间：1983年
- 国际刊号：1003-8213
- 曾用名：微细加工技术
- 纸张开本：A4
- 国内刊号：43-1140/TN
- 出版地区：湖南
- 发行周期：双月刊
微细加工技术期刊荣誉
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地址：长沙市第96号信箱301分箱（长沙黑石铺）
邮编：410111
主编：伍三忠
微细加工技术发文选摘
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1、电子束环氧基负胶的曝光反应机理分析
作者：卢文娟; 张玉林; 孔祥东
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2、环境因素对微纳加工中精确定位影响的研究
作者：张波; 薛虹
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3、电子束直写中X射线光刻掩模的热形变研究
作者：尚鸿雁; 王永坤
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4、飞秒激光应用于合金材料微细加工的试验研究
作者：刘勋; 陈涛; 刘世炳; 左铁钏
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5、光刻机试验运动装置振动信号的时频分析
作者：邓习树; 吴运新; 隆志力; 杨辅强
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6、微细工件的高频群脉冲ECLM试验研究
作者：付伟; 张之敬; 温楠
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7、基于AFM的多图层图形加工
作者：李晓娜; 韩立
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8、氨化Si基Ga2O3/Ta薄膜制备GaN纳米线
作者：李红; 薛成山; 庄惠照; 张晓凯; 陈金华; 杨兆柱; 秦丽霞
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9、基于多种群遗传算法的膜系优化设计
作者：刘磊; 金春水; 金伟华
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10、Al掺杂的ZnO薄膜的XPS谱和光学特性研究
作者：李丽; 常仁杰; 方亮; 李秋俊; 陈希明; 冯世娟
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